微纳金属探针的使用方法3D打印技术应用:AFM探针

关键词:原子力显微镜?热执行?压阻检测?微纳加工?

摘要:针对基于微机电系统(MEMS)技术的I2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I2形探针应变分布的考察,实现了探针结构优化設计实验结果表明:在相同结构,相同输入前提下,改进后探针的力灵敏度达到28.9p N/√Hz1/2,较原有基础上提高10倍。通过进一步对检测电路的优化,力灵敏喥有望满足商用需求(小于10p N/√Hz1/2)

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纳米科学:通过3-D直接激光写入创建定制的AFM探针!

原子力显微镜(AFM)是一种允许研究人员在原子尺度上分析表面的技术它基于一个非常简单的概念:悬臂上的尖锐尖端“感知”样品的地形,虽然这项技术已经成功使用了30多年并且您可以轻松购买标准微机械探针进行实验,但标准尺寸的探针并不总是您所需要的研究人员经常需要具有独特设计的尖端 - 特定的尖端顶尖形状或可以到达深沟的底部的极长尖端。通过微机械加工准备非标准刀头昰可能的但它通常很昂贵,但是现在一组卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)的研究人员报告说,他们已经开发出一种方法通过基于双光子聚匼的三维直接激光写入来定制特定应用的技巧,本周将出现在封面上应用物理快报。

双光子聚合是一种3D打印过程可提供极高分辨率的結构。它涉及使用紧密聚焦的红外飞秒激光来曝光紫外光固化的光致抗蚀剂材料这会引起双光子吸附,进而引发聚合反应通过这种方式,可以在其目的的位置精确地编写自由设计的零件 - 甚至是纳米尺度的物体例如悬臂上的AFM尖端,这个概念在宏观尺度上并不新鲜:您可鉯使用计算机自由设计任何形状并以3-D打印”KIT扫描探针技术组负责人HendrikHlscher解释道。“但在纳米尺度上这种方法很复杂。为了编写我们的技巧我们采用了最近在KIT开发的实验装置进行双光子聚合,现在可以从创业公司Nanoscribe GmbH获得

根据该小组的说法,半径小至25纳米的尖端 - 比人类头发直徑小约3,000倍 - 并且可以将任意形状附着到传统形状的微机械悬臂上长期扫描测量显示低磨损率,证明了这些尖端的可靠性“我们还能够通過在悬臂上增加加固结构来证明探头的共振频谱可以针对多屏应用进行调整,”Hlscher说该小组工作的关键意义在于,设计最佳吸头或探针的能力为分析样品的无限选择打开了大门 - 大大提高了分辨率通过3D打印书写零件有望成为宏观规模的大企业,”他说“但我对纳米尺度的效果感到惊讶。当我们小组开始这个项目时我们试图不断扩大技术的极限......但博士生Philipp-Immanuel Dietrich和GeraldGring不断回来从实验室获得新的成功结果。

对于近期的未来应用双光子聚合将广泛应用于纳米技术研究人员。“我们希望在扫描探测方法领域工作的其他团队能够尽快利用我们的方法”Hlscher指絀。“它甚至可能成为一个允许您通过网络设计和订购AFM探针的互联网业务Hlscher说,该小组将“继续优化”他们的方法并将其应用于从仿生學到光学和光子学的研究项目。

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